Ашкинази Леонид Александрович
Результаты в области термо- и вторичноэлектронных катодов за 1990-2018 годы
Lib.ru/Современная:
[Регистрация]
[Найти]
[Рейтинги]
[Обсуждения]
[Новинки]
[Помощь]
Результаты в области термо- и вторичноэлектронных катодов за 1990-2018 годы
Л.А.Ашкинази
-----------------------------------------------------------------------------------------------
Оксидный катод (ОК)
Теория
Исследования
Технология
Применение, параметры
Особые условия
Конференции IVESC
WBa-катод
Теория
Исследования
Конструкции
Технология
Применение, параметры
Особые условия
Конференции IVESC
LaB6-катод
Теория и исследования
Конструкция и технология
Применение, параметры
Прочие термокатоды
Металлы и сплавы
Катоды с окислами
Конференции IVESC
Конструирование КПУ
Измерения и контроль
Экзотические катоды и антиэмиттеры
Вторичноэмиссионные катоды
Теория и исследования
Применение, параметры
Обзоры
Литература
----------------------------------------------------------------------------------------
Данный обзор является продолжением серии обзоров [258-262], охватывающих историю катодной науки и техники с 70-х годов прошлого века, и освещает результаты, полученные с 1990 года.
Оксидный катод (ОК) и его модификации
Теория
Продолжена разработка моделей поведения ОК при ионизирующем излучении [1], при отравлении ОК [2], при вакуумно-термической обработке [3]. Разработке модели работы ОК посвящена работа [240]. В работе [264] утверждается, что в тройном оксиде должны быть нанометровые зародыши чистого BaO, которые могут рассматриваться как квантовые точки, а в местах контактов кристаллов с разными работами выхода образуются квантовые ямы с низкой работой выхода. В работе [265] расчитано влияние CaO на испарение Ba из ОК и WBa-катода, утверждается, что с ростом содержания CaO скорость испарения BaO возрастает. Небольшой обзор истории ОК дан в работе [280]. Попытка построения формальной модели срока службы проделана [284]. Механизмы, определяющие срок службы ОК и WBa-катодов обсуждаются в [287].
Исследования
Получены данные по неоднородности BN-катода (ОК с толстой губкой) [3], долговечности ОК в магнетроне [4]. В [243] по балансу эмиссионного охлаждения и омического разогрева определена проводимость при 780oC - 0,01 1/Ом.см. В работе [77] предложена модель работы ОК со Sc2O3 в покрытии: Sc2O3 восстанавливается активатором - Mg, затем Sc восстанавливает прослойку из Ba2SiO4, выделяя Ba (и уменьшая сопротивление катода, чем авторы пренебрегают). Авторы счтают, что частицы Sc2O3 сорбируют избыточный барий, уменьшая испарение Ba и уменьшая сопротивление катода. Экспериментальных данных по испарению и сопротивлению авторы не приводят, и подобное влияние Sc2O3 не очень реально, если учесть, что его мало в покрытии. В работе [268] исследовано влияние добавок окислов РЗМ на срок службы и испарение ОК, утверждается, что добавка окислов уменьшает электролиз BaO во время работы, поэтому срок службы увеличивается, а стойкость к отравлению падает. Состав прослойки между покрытием и керном (Ni+Mg+Al) исследован в работе [282], наличие активатора связывается с устойчивостью к отравлению в работе [283]. ОК с добавкой Ni исследовали в работе [289]. По мнению [291], в основе возобновления пленки на поверхности катодов лежит "синергетический механизм". После многолетнего перерыва появилась работа по молекулярно-напыленному ОК, исследовано влияние режима обработки на эмиссию [376].
Технология
Для ОК на металлической губке [241] показано, что при оптимизации диаметра частиц губки, пористости губки и запаса активного вещества возможно увеличение срока службы. В [242] предложено металлизовать окислы РЗМ и ЩЗМ рением. Обзор некоторых работ по ОК с добавкой металлических частиц сделан в [239]. В работе [113] подобран оптимальный режим карбонизации для молекулярно-напыленного ОК. В работе [112] исследованы причины брака ОК и обнаружено попадание посторонних веществ на поверхность катода. Технология изготовления молекулярно-напыленного ОК на подложке из Al2O3 толщиной 50 мкм предложена [116]. В работе [337] предложено при реставрации электронных приборов заменять ОК на ОК с повышенным запасом активного вещества, что увеличивает срок службы. В работе [272] предложен ОК с закрытой для уменьшения испарения боковой поверхностью, в работе [281] - плакированный материал керна. Утверждается, что плазменно-напыленный ОК имеет в 2 раза больший ток насыщения и в 10 раз меньшее испарение [327]. Прессование и спекание применено для изготовления BN-катода магнетрона [343]. В работах [352], [353] установлено, что диспергированный никель катализирует разложение карбонатов, и утверждается, что никель, растворенный в оксиде, уменьшает работу выхода. В работе [354] исследована электронная структура поверхности оксида бария, в работе [356] - кристаллов BaO, легированных Sc, в [361] - кристаллов BaO в WBa-катоде. Запатентован оригинальный BN-катод, в котором частицы Ni покрыты оксидами ЩЗМ [369].
Применение, параметры
По данным [5] ОК с окислами РЗМ в покрытии имеет при 700-800 oC и 1-2 A/см2 срок службы 8000 ч. По данным [77] тех же авторов, токоотбор при 800oС достигает 3 A/см2 (это выходит за уровень достигнутых данных по предыдущим обзорам) и при 800 oC и 2-3 A/см2 срок службы достигает при спаде тока 20 % 10.000-4.000 час. По данным [237] при испытаниях в режиме 830 oС 2 A/см2 2.000 ч. из окислов Sr, Y, Eu, Tb, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta в наибольшей степени стабилизирует эмиссию Eu2O3, причем важно распределение присадки в слое. При 2-3 A/см2 достигнут срок службы 10.000-4.000 ч., против 1.500-1.000 ч. для обычного ОК. В работах [267], [270] утверждается, что ОК в магнетроне может отравляться кислородом, выделяющемся при электронной бомбардировке катода и рекомендуется для борьбы с отравлением увеличивать температуру катода. По мнению [292], предельная долговечность сильно зависит от температуры катода. С катода на Ni-Ir-Re губке при 820 oС получена эмиссия 16 A/см2 в 10 мкс импульсе и скважности 100 и срок службы более 3000 ч. при непрерывном токоотборе 1 A/см2 [309]. При яркостной температуре 950 oС получена рекордная эмиссия 200 A/см2 [318]. От WBaScO-катода при 970 oС получена эмиссия 40 А/см2 и срок службы 5.000 ч. [358].
Особые условия
Термо- и вторичноэлектронная эмиссия ОК в парах Na рассмотрена в [135]. В [130] исследована проводимость ОК в разряде и обнаружено, что при большой пористости существенна фокусировка ионного потока в поры катода, а при малой - переход электронов в зону проводимости при рекомбинации ионов на поверхность катода. Для исключения отравления ОК в магнетроне кислородом, выделяющемся при бомбардировке катода, рекомендовано увеличить температуру катода [349].
Конференции IVESC
На конференции IVESC'96 были представлены следующие работы по оксидному катоду. В работе [166] сообщено о разработке многослойного тонкопленочного катода. Первый вариант - катод из чередующихся пленок Ni и тройного оксида, расположенных перпендикулярно эмиттирующей поверхности, которая представляет собой полосу шириной от 1 до 50 мкм (суммарная толщина всех металлических и оксидных слоев). При 850-900 oС получена эмиссия 10-15 А/см2 и срок службы 10.000 ч. Второй вариант - пленки WRe и Ва-Са-алюмината. При 1100oС получена эмиссия 20 А/см2 и срок службы 3000 ч. В работе [175] указаны перспективы применения ОК в кинескопах. В работе [212] сообщено об исследовании ОК с молекулярным покрытием для ВИС. Плотность токоотбора 0,3 А/см2, эффективность 20 мА/Вт. В работе [193] описана конструкция и технология четырехкаскадного монолитного усилителя на ВИС с такими катодами. Исследован ОК с добавками Sc2O3, In2O3 и одновременно Sc2O3 и In2O3 [200]. В работе [202] проанализирована термодинамика процессов в оксидном катоде и исследован процесс активации ОК. В работе [231] исследован ОК на основе оксалатов, активирующийся быстрее обычного и имеющий большую проводимость. При 830оС получена эмиссия 9 А/см2. В работе [216] приведены данные по процессу обезгаживания ОК - зависимости температуры и давления компонентов остаточной атмосферы от времени. В работе [230] утверждается, что фотоэмиссия ОК определяется кластерами Ba в покрытии, аналогично кластерам Ag в Ag-O-Cs фотокатодах.
На конференции IVESC'98 были представлены следующие работы по оксидному катоду.
В работе [251] исследован ОК с добавкой Sc2O3, но на керн Ni с присадками Mg и Si нанесена пленка W. В работе [252] показано, что ОК с игольчатыми частицами может иметь большую на порядки проводимость, чем катод с невытянутыми частицами (при исследованной форме порог перколяции - 5%).
WBa-катод
Теория
Продолжено обсуждение проблем скандатного катода [96], [317]. Теоретический расчет энергий связи пленок BaO на W проделан [138]. Модель изменения состава поверхности WBa-катода в процессе работы построена [120], [133], [225]. Определена зависимость от времени работы катода доли поверхности, занятой той или иной структурой. Показано, что эмиссия обусловлена двумя структурами - монослоем Ba на окисленном вольфраме и кристаллами, аналогичными ОК, а их относительная роль зависит от срока службы. Рассмотрены процессы при отравлении. В работе [304] сделана попытка построения модели монослоев на поверхности WBa- и WBaSc-катодов, утверждается, что оптимальны покрытия Ba0,25O и Ba0,25Sc0,25O. В работах [365], [379] эмиссия связана с концентрацией кислородных вакансий в кристаллитах BaO, в работе [374] - с составом и структурой сплава WOs.
Исследования
Исследовано изменение структуры металлической губки в процессе эксплуатации [6], [10], по мнению [10] эмиссия падает из-за укрупнения пор и уменьшения испарения. Исследована неоднородность эмиссии катода с Y2O3 [7], [367]. Проведен анализ предшествующих публикаций по катодам с Sc2O3 [8]. Исследована зависимость концентрации примесей в алюминате бария-кальция от режима отжига [9]. Поведение W-Ba-катодов с губкой различной пористости и из зерен разного диаметра исследовано [110]. Утверждается, что при росте пористости увеличивается эмиссия при больших токовых нагрузках, авторы предлагают щелевые поры [248]. Показано, что структура плазменно-напыленной губки катода влияет на срок службы [244]. WBaOsRu- и WBaOsIr-катоды требуют более долгой предварительной обработки и менее стойки к отравлению, но имеют на 65 oC более низкую рабочую температуру, чем WBa-катод [250]. Получены данные по эмиссии катода с добавками различных окислов [12] (максимальная эмиссия катода с матрицей W+Sc2O3), по эмиссии катода с пленкой Re [13] (эмиссия и однородность возрастают). Показано, что работа выхода катода с покрытием ReOsW на 0,03 эВ меньше, чем с покрытием OsW [16], что катод с 3% Sc2O3 в пропитке имеет эмиссию в 20 раз больше WBa-катода и в 4 раза больше WBaOs-катода. В работе [76] проведено подробное исследование скандатного катода, в частности, исследовано испарение с локальных участков WBa(WSc2O3)-катода (покрытие W+Sc2O3 5%), а именно участков, богатых Sc. Авторы считают, что основная эмиссия исходит с BaO, видимо, частиц BaO, покрывающих частицы Sc2O3 и внедренных в W (т.к. пленка W+Sc2O3 5% покрывает катод), в отличие от пленки Ba на O, покрывающей W. Для оптимального покрытия, выполненного из чередующихся слоев Sc2O3 и BaO получена эмиссия, вдвое большая, чем с WBa(WSc2O3)-катода. Поскольку Sc2O3 - плохой проводник, частицы Sc2O3 должны быть малыми. В работе [80] исследованы процессы в WBa(W+Sc2O3)-катоде. Высказано мнение, что степень предшествующего окисления W слабо влияет на установившуюся эмиссию, т.к. при активации степень окисления нивелируется. Обращено внимание на возможную роль диффузии кислорода в W матрице к поверхности. В работе [18] приведены всесторонние данные по различным вариантам WBaOs-катодов (Os - покрытие). Исследованы термо- и вторичная эмиссия, состав поверхности, испарение и срок службы объемно- и поверхностно-осмированных катодов, а также содержащих пленку OsRe. Наименьшую скорость испарения имеет объемно-осмированный катод, наибольшую эмиссию - катод с пленкой Os, наибольший срок службы - непокрытый катод. Поведение пленок Ba и Sc на W исследовано в [115]. Если Ba напыляется на субмонослой Sc на W, то сначала пленка Ва образует монослой и лишь потом собирается в трехмерные образования, а на полном слое Sc пленка Ва сразу образует трехмерные образования. Краткий обзор параметров WBa катодов (работа выхода и неоднородность) приведен в [19]. В работе [134] показано, что работа выхода пленок Ва и О на W(100) зависит при низкой температуре от порядка напыления слоев Ва и О, но при нагреве эта зависимость исчезает. В работах [106][132] показано, что максимум эмиссии достигается при введении Sc в пленку, а не в губку или пропитку WBa-катода, при этом растет число эмиссионных центров. Пленки ВаО и Sc2O3 на W исследованы [329]. Установлено, что пропитанный катод имеет более однородную эмиссию, нежели прессованный [330]. Продолжена разработка метода ускоренных испытаний [144] и установлена связь изменения концентрации на поверхности WBaOs-катода со сроком службы. В работе [149] исследованы свойства, структура поверхности и механизм работы WBaScO-катода (Sc2O3 - 3% в пропитке). Получена функция распределения поверхности по работе выхода, на поверхности предполагается образование слоя, содержащего W, O, Ba, Sc. В работе [275] показано, что на поверхности катода Ва связан с О. Поверхность WBaScO-катода исследованы [279], [288], [370], предлагаются модели работы катода. Термополевая эмиссия WBaOs- и WBaScO-катодов исследована [294], WReBaScO-катода - [296]. Исследованы WBaScO-катод [300] и WBacO-катод [366] с различной пористостью губки. В работе [303] по ВАХ установлено сопротивление кристаллов на поверхности катода. Структура катода WBaHfO - исходная и ее изменение в процессе активирования - исследована в работе [323]. Испарение WBaIr-катода исследовано в [325]. Предложен метод теоретического расчета теплопроводности катода WBaHfO3 [328]. Исследованы эмиссия и испарение WRe-катода [383].
Конструкции
Для подавления испарения Ba с неэмиттирующей части поверхности WBaOs-катода [148] предложена завальцовка с одновременным пропусканием тока на боковой поверхности. В работе [223] дан обзор многоэмиттерных, устойчивых к термоциклам катодно-подогревательных узлов с WBa-катодами. Оптимизация тороидального подогревателя WBa-катода проделана [326].
Технология
Показано, что ускорение обезгаживания (если вакуум остается хорошим) не ухудшает эмиссию [14]. Стандартная технология катода описана в [95]. Получение губки путем спекания пасты усовершенствовано [246]. WBa-катод с напыленной пленкой W-WO3-Sc2O3 с соотношением компонентов пленки 1:1,5:0,5 предложен [142]. Краткий обзор истории, технологии и параметров WВа-катодов дан [147]. В работе [271] показано, что срок службы возрастает при увеличении однородности структуры. Методы сварки для WВа L-катодов (резервуарных) рассмотрены в [285]. В работе [311] приведены результаты оптимизации состава губки и пропитки катодов. В работе [324] предложено добавлять MgO для увеличения вторичной эмиссии. Предложена "лазерная модификация" поверхности катода [321] для уменьшения эмиссионной неоднородности. Установлена корреляция между дисперсностью W и плотностью губки [316]. Технология WBaScO-катода усовершенствована (промывка и прогрев) [358] и при 970 oС получена эмиссия 40 А/см2 и срок службы 5.000 ч. Исследована технология напыления пленки Os [368] и ее влияние [384].
Применение, параметры
Показано, что работа выхода катода с покрытием ReOsW на 0,03 эВ меньше, чем с покрытием OsW [16], что катод с 3% Sc2O3 в пропитке имеет эмиссию в 20 раз больше WBa-катода и в 4 раза больше WBaOs-катода. Покрытие Sc позволяет уменьшить рабочую температуру на 200oC по сравнению с лучшими WBa-катодами и на 100 oC по сравнению с WBaOsRu-катодами. Скандатный катод обеспечивает при 1000 oC и токе 5-10 A/см2 срок службы не менее 10.000-5.000 ч. [17], причем если такой катод покрыть Os, его эмиссия уменьшится до эмиссии WBaOs-катода. Для WBa - катода с пленкой W+Sc2O3 получен ток 10 А/см2 при 900 oC, срок службы 18.000 ч. при 900 oC и отравляющее давление остаточных газов 2.10-10 торр (на порядок больше, чем для WBaOs - катода) [97]. Исследованы оба фактора ограничения срока службы WBaOs-катода - расход активного вещества и деградация поверхности (подложки для эмиттирующей структуры). При температуре менее 1180 oC (соответственно, токоотборе 20 А/см2 и сроке службы 5000 ч.) лимитирует испарение, при большей температуре - деградация. При 50-20-10-5-2 А/см2 достижим строк службы 0,3-5-20-50-200 тыс. ч. соответственно [98]. По мнению [99] для WBaOs - катодов может быть достигнут срок службы 100.000 ч. при токоотборе 30 А/см2 и 1100 oC. Для Wвa-катода получен срок службы 40.000-67.000 ч. при токоотборе 5 А/см2 [245]. В [100] указано, что в долговечных ЛБВ WBa-катод при 1070 oC и 1 А/см2 работоспособен 10.000 ч., WBaOs - катод при 1010 oC и 2 А/см2 - 240.000 ч. Информация об эксплуатации WBa-катода с резервуаром при 1000 oC и токоотборе 30 A/см2 содержится в [20]. В [84] предложен катод с канавками. Вещество, распыляемое при бомбардировке в газовом разряде, перепыляется на другую сторону канавки, и срок службы возрастает. Исследован состав поверхности WBaOs-катода в зависимости от температуры и времени работы. Содержание W начинает увеличиваться при 1150 oC через 1000 ч., при 1200 oC через 500 ч. [68]. В работе [74] исследована работа ряда WBa-катодов с токоотборами 2 A/см2 в течение 20.000 ч. Для WBa-катода дрейф характеристической температуры составил при 1075 oC - 130 oC, для WBaOs и WOsBa (губка WOs) при 1010-1040 oC - 30-40 oC соответственно. В работе [79] исследован WBaIr-катод (Ir - покрытие). При токоотборе 7,5 A/см2, температуре 1000 oC и сроке службы 10.000 ч. спад эмиссии составил около 10 %. Напряжение пробоя вакуумного зазора оказалось в 2,5 раза больше, чем для обычного оксидного катода. В работе [78] исследована работа WOsBa-катода (губка WOs) при токоотборе 0,75 A/см2 и температуре до 1020 oC (спад эмиссии в течение 40.000 ч. отсутствовал) и 2 A/см2. Во втором случае спад эмиссии составил при 1000-1050 oC 4 % за 40.000 ч., при 1100-1150oC - 10-20 % за 40.000 ч., при 1200-1250 oC - 20 % за 10.000-5.000 ч. Показано, что с точки зрения времени "выработки запаса температуры" (от температуры перегиба накальной характеристики до рабочей точки) при фиксированном токе существует оптимальная температура (например, для 2 A/см2 - 1000 oС). Связь состава поверхности WBaOs-катода и работы выхода исследована [105] и показано, что для активирования достаточно 20 мин. при 1100 oС. Подтверждено, что падение эмиссии WBaOs-катода связано с образованием слоя OsW2 на поверхности и получен срок службы при 1050-1200 oС 10.000-1000 ч. соответственно [125]. Покрытие WBa-катода W пленкой с регулярными отверстиями (щелями) для уменьшения скорости испарения предложено [109], причем W пленка снаружи покрыта Os. Такой катод имеет эмиссию, как у WBaOs-катода - 25 А/см2 при 1160 oС и срок службы 1000 ч. при 1200oС [108]. Показано, что для осмированного металлопористого катода оптимальное содержание Re в WRe губке - 50-60 %, а оптимальная концентрация Ru в OsRu покрытии 25-30 %, при этом срок службы увеличивается в 3 раза по сравнению с BaOs-катодом [104]. Показано, что места концентрации CaO на поверхности WBa-катода по данным рентгеноструктурного анализа совпадают с местами концентрации BaO, но Оже-спектроскопия показывает BaO. Поэтому кристаллы CaO покрыты BaO [122], причем при обогащении поверхности катода CaO эмиссия снижается [131]. Краткий обзор истории, технологии и параметров WВа-катодов дан [147]. В работе [274] получена эмиссия 12 A/см2 при 1350 oС с катода диаметром 100 мм. В работе [276] для катода с двухслойной губкой WOs получен при эмиссии 30 A/см2 срок службы 800 ч. В работе [277] проверено, как колебания температуры W-Sc2O3 катода отражаются на его эмиссии. Для W- Sc2O3 катода со сферическими частицами получена эмиссия 52 A/см2 при 900 oС [290]. Изготовлены и исследованы WBa(W+Sc2O3)-катоды с частицами Sc2O3 размером 0,070-0,6 мкм. Для катода с частицами 0,3 мкм (4,8 % от W) получена эмиссия 40- 170 A/см2 при 850-1050 oС и срок службы 11000 час при 1050 oС и 50 A/см2 [302]. При яркостной температуре 1340 oС получена рекордная эмиссия 300 A/см2 [318]. WBaOs-катод при температуре 1200 oС испытан с токоотбором 114 A/см2 в импульсном режиме с длительностью импульса 10 мкс и периодом 20 мс [348]. Эмиссия и скорость испарения ряда модификаций WBa-катода исследованы [364], получена эмиссия 72 A/см2 при яркостной температуре 900 oС. Авторы [375] добавили в импрегнированный катод нанопорошки углерода двух разных марок и сняли недокальные характеристики, плотность тока 1-20 А/см2 получена при 900-1150 oCярк. В работе [377] предложена конструкция WBa-катода с танталовыми шайбами для автоэмиссионного запуска. В работе [378] продолжено исследование роли формы пор на работу WBa-катода, утверждается, что щелевые поры лучше. В работе [381] описана конструкция катодных узлов ускорителей, в основном с WBa-катодами диаметром от 6 мм до 110 мм.
Обзор данных WBa-катодов и их модификаций по состоянию на 1994 год дан [340].
Особые условия
Получены данные по отравлению WBaOs-катода разными газами [11] (при 1160-1210 oC отравляющее давление, например, O2 - 10-8-3.10-8 торр, CO2 - 10-7-3.10-7 торр), по отравлению WBa-катода при 1100 oC и WBaOs-катода при 1060 oC [81] (O2 при 5.10-8 торр уменьшает эмиссию на 50 % за 15 мин и 50% за 15 мин, CH4 при 5.10-7 торр - на 10 % за 10 мин и 2% за 10 мин, CO2 при 5.10-7 торр на 15 % за 10 мин и на 60 % за 10 мин соответственно; данные сомнительны, т. к. для He, Ar, N2 получено активирование, для CO - реверсивное поведение). Попытка оценить влияние ионной бомбардировки на срок службы WBaIr-катода сделана [249]. В работе [75] обращено внимание на то, что восстановление эмиссии WBa-скандатного катода после ионной бомбардировки является неполным, что вызвано удалением при бомбардировке Sc и низкой диффузией его в катоде. Для ускорения диффузии предложено вводить активаторы диффузии в виде соединений со Sc - Re, Zr, Hf. С другой стороны, указано, что напыление на WBa-катод пленки W+Sc2O3 усложняет технологию и лучше было бы вводить Sc в покрытие в виде, например, ScH2, но при этом Sc удаляется при пропитке. Для уменьшения потерь Sc предложено Sc окислять. В работе [21] приведены данные по изменению работы выхода и поверхностных концентраций при отравлении различными газами и реактивации. Показано, что окисление носит многостадийный характер, определены температуры реактивации. В работе [308] приведены результаты прогнозирования срока службы при применении ускоренных испытаний.
Конференции IVESC
На конференции IVESC'96 были представлены следующие работы по WBa-катоду. В работе [167] сообщено о разработке и исследовании долговечного WBa-полого катода для работы в газовом разряде. В работе [168] приведены данные WBaIr-катода с губкой, имеющей верхний слой из мелкодисперсных частиц. Катод несколько более устойчив к анодным эффектам и ионной бомбардировке. В работе [169] сообщено об исследовании содержания Ва и О в поверхностных слоях WBa-катода - активного и отравленного. В работе [170] сообщено о разработке WBa-Sc2О3-катода с пленкой, нанесенной методом лазерного испарения. При 830-1060 oС достигнута эмиссия 32-400 А/см2. Срок службы при 1060 oС около 4000 ч. Дан обзор результатов в области скандатных катодов. В работе [171] предложена модель WBaSc2О3-катода и вычислена его работа выхода. В работах [172,195] исследована термохимия системы ВаО-Sc2О3-WO3 и эмиссия составов в системе ВаО-Sc2O3-WO3 с поверхностной пленкой ВаО. В работе [173] исследована модельная система для WBaSc2О3-катода - пленка Sc, Ba и О на W (001). Найдены условия достижения минимальной работы выхода. В работе [174] приведены данные исследования WBa-скандатных катодов, изготовленных по разной технологии - с напылением пленок Мо и Sc, окислов Мо и Sc, Мо и окисла Sc. Исследован состав поверхности и ход изменения эмиссии при нагреве. В работе [175] указаны перспективы применения WBa-скандатных катодов в кинескопах. В работе [177] сообщено об опыте эксплуатации WOSBa-катодов в космических ЛБВ в 1985 г. В работе [186] сообщено об использовании напыленных пленок Hf для создания эмиссионного рельефа на поверхности WBa-катода. Плотность тока с зоны пленки не превышает 1 мA/см2 при 900-1200 oС в течение 1500 ч. работы катода. В работах [187] предлагается WBa-катод стоимостью 3 доллара для кинескопов с эмиттирующей поверхностью 0,8х0,8 мм, имеющий при 1000 oС мощность накала 0,9 Вт. В работах [188, 190] сообщено о разработке крупногабаритного (100 мм) WBa-катода со сроком службы 10.000 ч. при 1050 oС и эмиссии 10 А/см2 и неоднородности эмиссии 10 % и контрасте с неэмиттирующей зоной 1000. Термохимия WBaSc2О3-катода рассмотрена в работе [196]. Исследована область с высоким содержанием Ва системы ВаО-Sc2O3-Al2O3. В работе [197] исследованы структура и состав поверхности WSc2О3Ва-катода с Re-пленкой. В работе [198] исследована десорбция Ar из напыленных OsRu-пленок. Исследовано влияние пленок Au, Pt, Cu, Fe и Ni на WBa- и WOsBa-катоды [199]. В работе [203] построена модель поверхности WBa-катода и определена зависимость от времени работы катода доли поверхности, занятой той или иной структурой. Данные о работе выхода и энергии сорбции пленок Ва-О на W, Re, Os, Ir, и сплавах W с различным содержанием Os и Jr, а также на гранях W и Ru приведены в работе [204]. В работе [205] приведены результаты испытаний CPD (controlled porosity dispenser) - катодов, представляющих из себя WBa-катод с напыленной сверху пленкой с регулярно расположенными отверстиями. Вариант с пленкой W-Sc2O3 имеет в диапазоне 850-1050 oС работу выхода ниже, чем у WBaOs-катода. О разработке WOsBa-катода большой долговечности (100.000 ч) сообщено в работе [206]. Катоды испытаны при 1000 oС и эмиссии 1,5 А/см2 в течение 60.000 ч. В работе [207] сообщено об исследовании работы WBa-катода с резервуаром (L-катода). При 1100 oС эмиссия составляет 10 А/см2, а срок службы при 1250 oС - 5000 ч. В работе [208] сообщено о испытаниях WBa-катодов с эмиссией 1,2 и 4 А/см2, ведущихся с 1980 г. В работе [209] сообщено об испытаниях WBa-катодов (L-катодов) с эмиссией 2 А/см2 при 1100 oС и 4 А/см2 при 1150 oС. Срок службы превышает 45.000 ч. В работе [211] сообщено об использовании WBaIr-катодов в ЛБВ. В работе [214] приведены данные по работе WBaOs-катодов в течение 100.000 ч при 1100 oС и токоотборе 1,5-2 А/см2. В работе [215] исследованы топография и состав поверхности WBa-катодов. В [219] предложена конструкция спирального прямонакального WBa-катода с расположенной по оси спирали втулкой из того же материала. Предполагалось, что испарение с втулки продлит срок службы катода. В работе [222] приведены данные испытаний WBaOs-катода при температурах 960-1150 oС и токоотборах 0,6-4 А/см2 в течение 90 тыс.ч. Прогнозируется срок службы: при 2 А/см2 - 200 тыс.ч., при 3 А/см2 - 50 тыс.ч., при 10 А/см2 - 2 тыс.ч. В работе [331] от WBaSc2О3-катода получена эмиссия 170 А/см2 при яркостной температуре 1100 oС.
На конференции IVESC'98 были представлены следующие работы по WBa-катоду.
В работе [253] от катода WBaOsRu с губкой пористостью 18 % и пропиткой Ba:Ca:Al 4:1:1 получен срок службы 200.000 ч. при токоотборе 2 А/см2. В работе [254] на катод с пропиткой Ba:Ca:Al:Sc 4:1:1:1 напыляли W (8, 16, 40 нм), потом Sc2O3 (2, 4, 10 нм), лучшие параметры получены при тонких слоях - эмиссия 80 А/см2 при 1030 oС. В работе [255] исследована зависимость плотности матрицы, размера пор и их распределения от параметров прессования. В работе [257] показано, что параметры WBaOs-катода с резервуаром (L-катода) улучшаются, если губку делать из монодисперсного порошка.
LaB6-катод
Теория и исследования
Исследована теоретическая возможность защиты катода от влияния углерода [23], экспериментально исследованы механические свойства монокристалла при локальном нагружении [24], функция распределения термоэлектронов [25] (обнаружена немаксвелловость), работа выхода пленок LaYB6 [27], [28] (показано, что непосредственно после активирования она меньше, чем у LaB6). Проанализирована неравномерность термоэмиссии и ее связь с пятнистостью эмиттера для LaB6 (100) и LaB6-W-Ni [26]. Показано, что эмиссия систем LaCeB6 и LaNdB6 меньше, чем LaB6, LaPrB6 равна LaB6, скорости испарения равны LaB6, но срок службы грани (100) больше, чем LaB6 из-за большего совершенства структуры (и, возможно, более медленной перестройки поверхности [82]). Данные по излучению и эмиссии LaB6 приведены в [143]. Исследование тонких пленок гексаборидов продолжено в [140]. В [103] обращено внимание на возможность влияния на катод ионной бомбардировки ионизированными продуктами испарения самого катода. Параметры LuB12 исследованы [342]. Коэффициент излучения изучен [359].
Конструкция и технология
Описаны конструкция и параметры узла с подогревателем и конструкционными элементами из углерода [30], [31]. Для изготовления LaB6-катода предложено применять метод самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (горения смеси La2O3, TiO2, B, Ti, Si). Получена матрица NiAl с включениями LaB6, TiB2, термоэмиссия не определялась [93].
Применение, параметры
Получена эмиссия 30 A/см2 в импульсе 25 мкс с катода площадью 2,85 см2, обнаружена паразитная эмиссия с Mo держателей, LaB6 и подогреватель изолирован от перепылений графитом [29]. Упомянуто о применении LaB6-катода в ЛОВ субмиллиметрового диапазона [32]. Рекламируются торцевые КПУ на основе LaB6 и углерода с диаметром эмиттера 9-120 мм и плотностью тока до 30 A/см2 и полным током до 2500 A [22]. В работе [119] исследована зависимость работы толстопленочных газоразрядных катодов на основе боридов лантана и никеля в зависимости от технологии изготовления. В [141] сообщается о разработке мощной (100 кВт) электронной пушки с La6-катодом. В [217] описан катодно-подогревательный узел с LaB6-катодом диаметром 12 мм, обеспечивающим токоотбор 20 А/см2 при 1600 оС в импульсе 250 нс.
Прочие термокатоды
Металлы и сплавы
Показано, что IrTh-катод обеспечивает ту же эмиссию, что WTh и W при меньшей температуре и поэтому качество пучка получается выше [35]. Исследовано взаимодействие сплава PdBa с Ta, W, Mo [34]. Предложено изготавливать W-катод по пленочной технологии [94]. Тонкие перемычки из W пленки толщиной 1 мкм, конечно, имеют малый срок службы, но на одной подложке их формируется 104 шт., и по мере выхода их из строя подложка перемещается так, чтобы токоотбор осуществлялся со следующего катода. Катод из Re2Th, втертого в поры Re губки на W подложке описан [118]. В [218] теоретически исследован механизм диффузии в металлосплавном катоде на примере WTh. Наконец-то в западных изданиях опубликованы полученные более четверти века назад в России данные по катодам Ir-РЗМ [154], [155], [220] (230 А/см2 в импульсном режиме). Обзор данных по этим катодам сделан [333]. В работе [347] намечены пути развития катодов с использованием нанопорошков.
Катоды с окислами
Исследованы реакции, протекающие на всех стадиях взаимодействия Ta+Y2O3 [33]. Показано, что PdBa-катод, ионно-имплантированный Ba, увеличивает эмиссию при окислении O2 до 0,3 A/см2 при 800 oC [36]. Эмиссия окисленной W губки в потоке Cs исследована [101], получена работа выхода 1,03 эВ. В работе [238] от катода Mo+Re2O3 получена при 1350-1400 oС эмиссия до 0,37 А/см2. В работе [111] исследованы газоразрядные пленочные катоды на основа борида Ni и легкоплавкого стекла. Показано, что в зависимости от состава стекла на поверхности может быть сформирован слой с преобладанием Pb, B, Si. С точки зрения вторичной эмиссии оптимально преобладание Pb. Механизм эмиссии окисленных сплавов W, Ta, Nb c Hf, Zr в потоке Cs рассмотрен [127]. В [137] исследована эрозия термокатода с заглубленной эмиссионной вставкой при давлении до 5 атм. Поверхность Mo+La2O3-катода исследована в [278] и показано, что состав La2O3 близок к стехиометрическому, в работе [295] исследовано влияние размера частиц La2O3 на эмиссию. В работе [355] исследован катод W+Sc2O3 и утверждается, что при оптимальной порстости может быть получена плотность тока 100 А/см2. В работе [346] утверждается, что при разработке и в производстве композиционных катодов необходимо использовать современные методы диагностики и оборудование. Показано, что на поверхности PdBa-катода имеются кристаллы BaO с вакансиями кислорода [385].
Конференции IVESC
В области катодов этой группы на конференции IVESC'96 были представлены следующие работы. В работе [176] сообщено об исследованиях PtBa и PdBa металлосплавных катодов для мощных электровакуумных приборов. В работе [213] приведены данные по вторичной электронной эмиссии, составу поверхности и способу активации катодов PdBa и PtBa. В работе [178] сообщено об использовании миниатюрного (диаметром 0,5 мм) прямонакального IrCe-катода в электронной пушке. Время разогрева катода - 1 с, срок службы 10.000 ч., локальная плотность тока 50 А/см2 температура катода 1700oС, мощность накала 1,5 Вт. В работе [189] описан металлосплавной катод с покрытием IrLa или ReTh. Формат катода - спираль. При 1100 oC плотность тока 2-3 А/см2 и срок службы 3000-6000 ч. В работе [184] сообщено об определении распределения площади по работе выхода LaB6-катода. Об исследовании распределения эмиттирующих зон по поверхности W катода сообщено в работе [192].
Конструирование КПУ
Проделаны расчеты тепловых полей [41], в том числе для прямонакального [42] и цилиндрического [163] катода, расчет деформаций КПУ [38], [320], тепловой расчет КПУ с залитым подогревателем [37], [39], включая процесс разогрева [40]. Рекламируются углеродные подогреватели [43] и описаны различные методы их изготовления [87]. Изготовлен и испытан оригинальный подогреватель в виде пленки углерода на BN-подложке [66]. Этот же подогреватель спечен с катодом сплавом NiW или смесью Ni и W [86]. Подогреватель характеризуется малой массой и малым временем разогрева. Согласно [67] тот же автор сообщал о катодах с электронной бомбардировкой и временем разогрева 0,5 с и о прямонакальных катодах с временем разогрева 0,3 с. Дефекты и отказы залитых подогревателей малогабогритных металлопористых катодов рассмотрены в [128]. Оплавление поверхности катодов при импульсной электронной бомбардировке предложено в качестве технологической операции при изготовлении катодов [117]. Показано [145], что ранее опубликованный метод расчета кривых нагрева WBa-катода дает хорошее согласие с экспериментом. Некоторые соображения по конструированию кольцевых катодов приведены [158]. В работе [165] вычислено, в какой мере увеличение температуры катода в процессе работы способно продлить его работу, несмотря на уменьшение потока активного вещества, в работе [373] предложено по мере ухудшения эмиссии поднимать температуру катода. В [221] приведены новые варианты контактных и излучательных подогревателей для WBa-катода и сообщено о достижении долговечности 100.000 ч. при 3 А/см2. Разработана методика расчета нагрева термокатодов горячим газом [228]. Показано, что применением керна переменной толщины можно увеличить долговечность в циклическо режиме [232], [233]. В работе [256] предложено двуслойное покрытие подогревателя - 100 мкм Al2O3 и 20 мкм смеси Al2O3 и W. В области конструкций катодов на конференции IVESC'96 было сообщено об имевшей место разработке катодов большой площади - до 400 см2 [191]. В работе [305] поведена оптимизация конструкции торцевого катодного узла с контактным нагревателем. В работе [307] предложено при изготовлении подогревателей использовать капиллярные эффекты. В работе [313] рассмотрены способы уменьшения времени разогрева прямонакальных катодов. Оригинальная конструкция прямонакального торцевого WBa-катода с временем разогрева 2 сек приведена в [338]. В работе [344] рассмотрена возможность повышения надежности КПУ для магнетронов путем усовершенствования конструкции, в работе [350] -- катодов импульсных магнетронов. Предложено нагревать катод лазерным излучением [382]. В работе [351] описана конструкция ОК площадью 100 см2, состоящего для упрощения конструирования и выравнивания температурного поля из четырех отдельных катодов.
Измерения и контроль
Изложены основы метода измерения работы выхода методом тормозящего потенциала [44], [15], усовершенствована его методика [88] и приведена схема прибора для измерений [45]. Разработан метод измерения скорости испарения по напылению на кварцевый резонатор [46] и по накоплению ионов в потенциальной яме в объеме ЭВП [47]. Продолжена разработка модели неоднородности эмиссии катода [48], [314], [315], [371], [380]. Уточнены теория и характеристики прибора с микрозазором для исследования термоэмиссии [70]. В работе [73] усовершенствована методика измерения работы выхода с помощью эмиссионного микроскопа, для катодов ZrC (100) (110) (111) (210) и W (100) (110) (111) получены данные, близкие к опубликованным [73]. В работе [164] рассмотрена возможность прогнозировать срок службы по времени спада эмиссии на 10 % при отключении накала. Для катодов одного типа показано, что разброс температур катодов не влияет на время достижения определенного тока эмиссии при включении, использующееся для контроля работы выхода [226]. В работе [306] для исследования Pd-Ba-катода применено одновременное измерение веса и эмиссии и обнаружены синхронные колебания. Шумовые методы применены для оценки эмиссионной неоднородности в работе [310].
В области измерений и контроля на конференции IVESC'96 были представлены следующие работы. В работе [180] рассмотрены подходы к аппроксимации ВАХ планарного диода. Работа [181] посвящена уточнению уравнения Ричардсона. О методе измерения распределения поверхности по работе выхода сообщено в работах [182, 185], а в работе [183] сообщено об определении этого распределения для ферромагнетика в точке Кюри. Об исследовании термоэлектронных катодов в диодах с управляемым микро- и нанометровым зазором сообщено в работе [194]. В работе [201] предложено характеризовать катоды не работой выхода, а распределением поверхности по работе выхода, что позволяет лучше описать их работу в электронно-оптических системах. В работе [210] предложено находить из ВАХ, снятых при разных температурах, распределение работы выхода и характеризовать им катод, в [362] предложено находить из ВАХ, снятых при разных температурах, средний размер центров эмиссии и расстояние между ними. Приведены данные для различных катодов в процессе срока службы. Разработка шумовой диагностики термокатодов продолжена [298], показано, что шумовые свойства разных участков поверхности катода различны.
Некоторые экзотические катоды и антиэмиттеры
С многоострийных катодов (катодов Spindt'а) получен ток 0,4 A/см2 в течение 10.000 ч., ток 2 A/см2стационарный и 10 A/см2 импульсный [54] и 1000 A/см2 импульсный [55], обзор данных этих катодов и приборов на их основе дан [56]. На конференции IVESC'96 было сообщено о продолжении разработок катодно-сеточных узлов на основе многоострийных катодов [179]. С площади 0,1 мм2 получена средняя плотность тока 15 А/см2 (ток 15 мA) в течение 8500 ч.
С ОК получена фотоэмиссия 15 A/см2 под действием лазерного (0,512 мкм) облучения [57]. Обзор приборов с использованием многоострийных катодов приведен (попутно) [71]. С Zn-фотокатода, облучаемого 0,5 пс импульсом УФ-лазера мощностью 1ГВт на волне 248 нм получен ток плотностью 1 кА/см2 в луче диаметром 7 мм [126]. Катод из сегнетоэлектрика, эмиттирующий при изменении поляризации, предложен [139]. Получена плотность тока 70 А/см2, предполагается, что можно получить плотность тока 1 кА/см2 при длительности импульса 100 нс (эмиттируемый заряд составит около 0,3 "заряда монослоя").
В работах [269, 299] предложено создавать антидиффузионный барьер под Pt3Zr антиэмиссионным покрытием. В работе [360] показано, что если напылить слои Zr, ZrC с дефицитом С и ZrC с избытком C, а потом отжечь, то получится слой стехиометрического состава.
Вторичноэмиссионные катоды
Теория и исследования
Продолжена разработка теории и получения формул для зависимости вторичной эмиссии от энергии угла и элементного состава [58], [59], [72], [89], [90], [91]. В работе [151] вычислена зависимсть КВЭ от энергии и угла падения первичных электронов для неровной (синусоидальной) поверхности, в [152], [153] - для прямоугольной щели. В работе [297] исследовано влияние температуры на ВЭЭ с моно- и поликристаллического алмаза. Показано, что в Cs-O покрытии GaAs и InP-катодов с ОЭС есть несколько различных состояний Cs и O [60], что в процессе прогрева PtTh пленка на W достигает КВЭ 2,7 [61], у напыленных пленок CuBaO наибольший КВЭ достигается при молярной концентрации Cu 0,15 и его максимум составляет 5,8 (при энергии 0,35 кэВ) [62]. Зависимость ВЭ пленок BeO на Be от толщины исследована [92] и показано, что оптимальная толщина составляет 0,2 мкм, при этом максимальный КВЭ - 3 при 0,5 кэВ, а при E=0,2 кэВ КВЭ = 2,3. В работе [64] исследовано энергетическое распределение вторичных электронов из ОЭС-эмиттеров, а краткий обзор данных по этим эмиттерам дан [65]. Для тонких пленок SiO2 и Si3N4 получены данные: максимальное КВЭ - 3,8 и 2,9 (соответственно), при 0,45 и 0,35 кэВ, и первый критический потенциал E1 (в обоих случаях) - около 20 эВ [69]. В [124] показано, что при восстановлении почти всего Pb в свинцовом стекле для микроканального умножителя можно уменьшить сопротивление на 1-2 порядка.
В [121], [136] исследовано влияние технологии на термо- и вторичноэлектронную эмиссию PdBa-катода. Разработан прессованный PdBa-катод [319] для безнакального магнетрона, в котором поток Ba и автоэмиссия зависят от пористости катода, в [322] исследовано испарение этого катода. При ионном внедрении Ba в Pd и последующем окислении получен максимальный КВЭ - 8 и термоэмиссия 0,1 А/см2 при 1000 oC. Эмиссионные характеристики PdBa- и PtBa-катодов приведены в [341]. В работе [266] исследовано испарение Pt, Pd, Ba и BaO из PdBa- и PtBa-катодов. В работе [273] сделан расчет роста кристаллов BaO на PdBa-катоде. В работе [345] рассмотрена возможность создания на поверхности PdBa-катода автоэмиссионных центров посредством ионной бомбардировки.
В работе [114] показано, что для работоспособности холодного Al-катода необходима пленка MgO на поверхности. В [150] исследован вторичноэмиссионный BeO-катод, состав его поверхности, спектр эмиттированных электронов. Получен максимальный КВЭ - 2,8 при 0.4 кэВ, E1=40. Исследована зависимость свойств от температуры. Для сплава Al-2,2% Li достигнут максимум КВЭ - 7 при 0.6 кэВ, минимальное Е1 - 5 эВ [156]. Показано, что гистерезис КВЭ связан с зарядкой поверхности и определены условия его отсутствия [159]. В [161] построена модель вторичной эмиссии пористого материала и показано, что КВЭ может иметь два пика и что КВЭ в область более 1 кэВ может увеличиваться в несколько раз. Режим обработки катода на основе боридов Ni и легкоплавких стекол оптимизирован [162]. Работающий катод - частицы никеля в матрице из окислов Pb, B и Si. Показано, что электронно-лучевая обработка микроканальных пластин увеличивает КВЭ. Вторичная эмиссия свинцово-силикатных стекол исследована [263]. В [102] исследовалось изменение состава поверхности PbSi-стекол при облучении. Катод Al+1-3% Li c максимум КВЭ - 7 исследован в [286]. В работе [301] исследование напыления Re, Mo, Cu на ВЭЭ Pt.
Применение, параметры
Вторичная эмиссия WBa-катода в зависимости от состава и в течение срока службы исследована [63] (максимальный КВЭ реализуется при пропитке 3-1-1, и через 10.000 ч. работы при 850 oC он составляет 1,6). В [123] рассмотрена технология композиционных сплавов благородных металлов для долговечных вторично-электронных эмиттеров. Металлический компонент - Pt, Pd, Ag, оксидный - BeO, CaO, SrO, Li2O. В частности, в системе Pd-BaO-Li2O достигнуты параметры Е1=25 эВ, максимум КВЭ - 4,5. Показано, что при термоактивировании композиционных катодов MgO+Cu частицы Cu объединяются в матрицу, а частицы MgO укрупняются до 1-3 мкм [129]. В [234] исследованы эмиттеры на основе Ni, Cu, Pt и окислов BeO, MgO, BaO, Li2O, показано, что максимальная эмиссия достигается при отношениях Ba:Mg:Be - 8:5:2 и Ba:Li - 1:5. Система Cu-BaO-Li2O c покрытием Cu исследована [235], показано, что такой катод выдерживает в 1,3-1,5 раза большие нагрузки, чем PdBa с Mo покрытием. В [293] приведены данные по катодам Mo+La2O3, Mo+Y2O3, Mo+Gd2O3, Mo+Ce2O3, получен максимальный КВЭ 5,24. В работе [236] предложено распространить системный подход не только на конструирование катода, но и на производство. В работе [312] оптимизирована пористость Pd-Ba-катодов. Разделение авто- и вторично электронного катода в магнетроне предложено [334], их одновременное активирование - [335]. Технология PdBa-катодов для магнетронов с безнакальным запуском разрабатывается и совершенствуется [336], [339].
Обзоры
Опубликованы обзор по катодам долговечных ЭВП [49], многолучевых ЭВП [50], по катодам ЭВП и ГРП [51], [83], [85]. Некоторые данные по катодам кинескопов приведены в [52], по сроку службы - в [53]. Обзор катодов, разработанных в НИИ "Исток", дан в работах [146], [157], катодов для ГРП, разработанных во ВНИИМЭТ - в [160], [224], катодов, разработанных в объединении "Торий" - в [229]. Краткий обзор данных катодов имеется в [332]. Обзор данных WBa и металлосплавных катодов имеется в [363], WBaSc-катодов - в [372]. Часть данных настоящего обзора (до 1993 года) была опубликована [107]. Обзор данных WBa-катодов и их модификаций по состоянию на 1994 год дан [340]. Обзор работ по вторично-эмиссионным металлосплавным и металлооксидным катодам дан [357].
Литература
1. Иванов В.И., Можаев П.Б. // Физика и химия обработки материалов. 1989. N 6. С. 12.
2. Ашкинази Л.А., Дедков А.Ф. // Журнал Физической химии. 1992. N 5. С. 1418.
3. Королев С.В., Киселев А.Б. // Радиотехника и электроника. 1991. Т.36. N 7. С. 1353.
4. Кандыбей В.Г., Смирнов Н.С. // Эл. техн. сер. 1 Эл-ка СВЧ. 1991. N 6. С. 41.
5. Saito M., Fukuyama K., Ishida M., Watanabe K., Kamata T., Sano K. Пат. США 4797593 (РЖ Электроника 1989. N 12. Реф. А170).
6. Гетьман О.И., Корольков А.Е., Михайленко М.А., Ракитин Г.П., Рудь З.П., Сухоярская З.П. // Эл. техн. сер. 6. Материалы. 1991. N 5. С. 17.
7. Su X., Fang H. J. // Electron. 1990. V. 12. N 6. P. 628.
8. Hasker J., Crombeen J.E. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 6(2). P. 1594.
9. Дюбуа Б.И., Лобова Э.В., Громова Р.П. // Эл. техн. сер. 1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 1. С. 49.
10. Масленников О.Ю., Титов Ю.В., Астахова Е.А. // Эл. техн. сер. 1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 2. С. 40.
11. Nexsen W.E., Turner W.C. J. // Appl. Phys. 1990. V. 68. N 1. P. 298.
12. Brion D., Shroff A.M. // ReV. Techn. Thomas-CSF. 1991. V. 23. N 4. P. 1027.
13. Zhang H., You Y., Cheng Y. // J. Electron. 1991. V. 8. N 2. P. 180.
14. Шнюков В.Ф., Михайловский Б.И., Лушкин А.Е., Божко А.Н. // Эл. техн. Сер.1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 5. С. 24.
15. Yamamoto S., Watanabe I., Sasaki S., Yaguchi T., Tanuma H. // Surf. Sci. 1990. V. 235. N 2-3. P. L338.
16. Fang C.S.A., Maloney C.E. J. // J. Vac. Sci. Technol. A // 1990. V. 8. N 3. P. 2329.
17. Набоков Ю.И., Свинцов В.В. // Эл. техн. Сер.1 Эл-ка СВЧ // 1991. N 8. С. 32.
18. Дюбуа Б.Ч., Земчихин Е.М., Макаров А.П.Култашев О.К., Куранова Е.Д., Поливникова О.В. // Радиотехника и электроника 1991. Т.36. N 5. С. 985.
19. Raju R.S. // IETE Tech. ReV. 1989. V. 6. N 6. P. 436.
20. Staprans A., Symons R.S. // Microvawe J. 1990. V. 33. N 12. P. 26.
21. Haas G.A., Thomas R.E., Marrian C.R.K. // IEEE Trans. 1991. V. ED38. N 10. P. 2244.
22. Катодно-подогревательные узлы (Буклет) Б.М. б.г. [МПТИ, М. 1992].
23. Ашкинази Л.А. // Эл. техн. Сер.6. Материалы. 1991. N 8. С. 75.
24. Гриднева И.В., Лазоренко В.И., Лодко Д.В., Мильман Ю.В., Падерно Ю.Б., Чугунова С.И. // Порошковая металлургия. 1990. N 12. С. 30.
25. Солонович В.К. // Письма в ЖТФ. 1991. Т.17. N 20. С. 80.
26. Булыга А.В. // Физика и химия редкоземельных полупроводников Новосибирск. 1990. С. 63.
27. Васильев А.М., Бессараба В.И., Дудник Е.М., Епанишникова И.И. // Вопр. атомной науки и техники. Сер. Ядерно-физические исследования. 1990. N 4. С. 68.
28. Бессараба В.И., Дудник Е.М., Васильев А.М., Филиппов В.Б., Шагинян Л.Р. // Электронное строение и св-ва тугоплавких соединений и металлов. Киев 1991. С. 112.
29. Herniter M.E., Getty W.D. // IEEE Trans. 1990. V. PS18. N 6. P. 992.
30. Ермилов А.Н., Логинов Л.В. // ПТЭ 1991. N 2. С. 201.
31. Ашкинази Л.А., Ермилов А.Н., Логинов Л.В. // Эл. техн. Сер.1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 5. С. 28.
32. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике 1991. N 187/188.
33. Капустин В.И. // Изв. АН СССР. Сер. Неорганические материалы. 1991. Т.27. N 4. С. 790.
34. Есаулов Н.П., Галактионов И.А., Еремеева Г.А., Марин В.П., Марголис Л.М., Семенов Л.А., Титов Ю.В. // Эл. техн. Сер. 6. Материалы 1991. N 8. С. 19.
35. Mason N.J., Newell W.R. // Meas. Sci. Technol. 1990. V. 1. N 9. P. 983.
36. Умирзаков Б.Е., Сергеев Г.И., Нормурадов М.Т., Касымов А.Х. // Эл. техн. Сер. 1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 10. С. 28.
37. Venkateswarlu D.S., Anjan S. // Appl. Surf. Sci. 1991. V. 52. N 1/2. P. 7.
38. Zhang Z. // TeleV. Eng. 1990. N 9. P. 5.
39. Sil A., Venkaterswarlu D.S., Samria N.K. // IETE Tech. ReV. 1989. V. 6. N 6. P. 440.
40. Sil A., Samria N.K., Venkaterswarlu D.S. // Appl. Surf. Sci. 1990. V. 45. N 3. P. 229.
41. Бербасов В.А., Журавлева М.С., Хрыкина Т.А. // Эл. техн. Сер.1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 3. С. 43.
42. Сусаров А.Д., Федяков В.П. // Вопр. атомной науки и техники. Сер. Электрофизическая аппаратура. 1990. N 25. С. 36.
43. ПТЭ 1991. N 2. С. 16.
44. Ben-Shalom A., Seidman A., Croitorn N. // Thin Solid Films. 1990. V. 186. N 2. P. L55.
45. Коваль В.Ф., Берденюк И.В. // ПТЭ 1992. N 2. С. 251.
46. Chang Z., Wu C., Ni M. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1991. V. 9. N 3(1). P. 501.
47. Базылев В.К., Коротченко В.А., Скворцов В.Э. // Эл. техн. Сер. 4. Эл. вак. и газоразр. приб. 1991. N 3. С. 18.
48. Шаповалов А.С. // Вопросы прикладной физики. 1989. N 1. С. 43.
49. Киселев А.Б. // Обз. по эл. техн. Сер.1 СВЧ-техника. 1992. N 11.
50. Киселев А.Б., Марченко Н.Н. // Эл. техн. Сер.1. Эл-ка СВЧ. 1991. N 9. С. 3.
51. Ашкинази Л.А. // Обз. по эл. техн. Сер.1 СВЧ-техника 1992. N 5.
52. Nakanishi H., Sano K. // J. Inst. TeleV. Eng. Jap. 1990. V. 44. N 6. P. 736.
53. Гродзенский С.Я. // Обз. по эл. техн. Сер.1 СВЧ-техника 1990. N 14.
54. Djubua B.C., Chubin N.N. // IEEE Trans. 1991. V. ED38. N 10. P. 2314.
55. Spindt C.A., Holland C.E., Macanlay J., Brodie I. // 37 Int. Field. Emiss. Symp. Albuquerque N.M. 1990. P. 27.
56. Дэнсокэн нюсу. 1991. N 493. P. 8.
57. Вапцан В.М., Галат А.Б., Сафонин Н.Н., Кульбеда В.Е.,.Рыльцева П.И. // Физика твердого тела. 1990. N 20. С. 76.
58. Abuelma'atti M.T. // IEEE Trans. 1990, V. ED37, N 6(2), P. 1590.
59. Schwarz S.A. // J. Appl. Phys. 1990, V. 68, N 5, P. 2382.
60. Коротких В.Л., Афанасьев М.В., Турчинский В.М. // Радиотехника и электроника. 1992. Т.37. N 3. С. 541.
61. Карасик Б.С. // Электронные процессы в твердом теле ЛГПИ. Л. 1990. С. 143.
62. Croitoru N., Siedman A., Yassin K. // Thin Solid Films. 1990. V. 191. N 2. P. 361.
63. Shroff A.M., Tonnerre J.C. // Int. El. DeV. Meet. 1989. P. 375-378.
64. Стучинский Г.Б., Янюшкин Е.И., Янюшкин Г.В. // Электронные процессы в твердом теле ЛГПИ. Л. 1990. С. 154-160.
65. Климин А.И., Стучинский Г.Б. // Проблемы физической электроники-91. Л. 1991. С. 77-101.
66. Cattelino M.J., Miram G.V. , Smith B. // IEEE Trans. 1991. V. ED38. N 10. P. 2239.
67. Christensen J.A. // Microwave J. 1989. V. 32. N 2. P. 26.
68. Nagahisa M. // IEEE Trans. 1991. V. ED38. N 11. P. 2554.
69. Fijol J.J., Then A.H., Tasker G.W. // Appl. Surf. Sci. 1991. V. 48-49. P. 464.
70. Булыга А.В. // Изм. техн. 1992. N 4. С. 42.
71. Сазонов В.П. // Эл. техн. Сер.1. Эл-ка СВЧ. 1992. N 8. С. 3.
72. Abuelma'atti M.T. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 1. P. 299.
73. Mackie W.A., Hinrichs C.H., Davis P.R. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2568.
74. Bussey D., Daniszewski E., Novak M., Byan J., Wilkinson J. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2612.
75. Hasker J., Crombeen J.E. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2589.
76. Lesny G., Forman R. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2595.
77. Saito M., Suzuki R., Fukuyama K., Watanabe K., Sano K., Nakanishi H. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2605.
78. Feltham S.J., Kornfeld G., Lotthammer R., Stevenson J.L. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2558.
79. Kimura S., Yakabe T., Matsumoto S., Miyazaki D., Yoshii T., Fujiwara M., Koshigoe S. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2564.
80. Crombeen J.E., Hasker J. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2585.
81. Kobale M., Reiners M. // IEEE Trans. 1990. V. ED37. N 12. P. 2581.